Bruker D8 Discover

 

Рентгеновский дифрактометр D8 DISCOVER фирмы Bruker AXS предназначен для прецизионного исследования материалов микро- и наноэлектроники. Позволяет проводить рентгенодифракционные исследования материалов, в том числе методами дифрактометрии высокого и низкого разрешения, построения карт обратного пространства, рефлектометрии, дифрактометрии высокого разрешения под скользящими углами, и исследования текстуры и напряжений в автоматическом режиме, с целью обеспечить:  
  • фазовый и структурный анализ твердых тел (порошки, поликристаллы); 
  • исследование морфологии межслойных границ в многослойных структурах, с толщинами слоев вплоть до нескольких монослоев; 
  • изучение особенностей морфологии поверхности и приповерхностных слоев по глубине (от десятых долей нанометра); 
  • изучение структурных превращений в твердых растворах. 

Технические характеристики

Источник рентгеновского излучения - запаянная рентгеновская трубка  с медным анодом мощностью 2.2 кВт.

 

Первичная Оптика

  • Параболическое многослойное рентгеновское зеркало (Зеркало Гёбеля) для создания квази-параллельного пучка
  • Набор коллимирующих щелей
  • 4-ёх кратный блок-монохроматор Ge(220)

 

Гониометр 

  • Горизонтальный гониометр с минимальный шагом по углам Theta и 2Theta: 0,0001° и воспроизводимостью  позиционирования углов Theta и 2Theta не хуже 0,0001°.
  • Образец крепится на подвес Эйлера, обеспечивающий три поступательные и три вращательные степени свободы
  • Вакуумный вращающийся держатель образцов диаметром 125 мм.

 

Вторичная Оптика

  • Блок PathFinder включающий в себя: щель, щели Соллера, кристалл-анализатор
  • Моторизированные щели

 

Системы детектирования

  • Позиционно-чувствительный 1-D детектор LYNXEYE с числом каналов 190.
  • Сцинтилляционный 0-D детектор 

 

Программно-аналитические возможности

  • рентгенофазовый анализ с использованием базы порошковых данных PDF2;
  • рентгеноструктурный анализ посредством моделирования порошковых дифрактограмм, индицирование, метод Ритвельда;
  • моделирование кривых отражения и построение распределения плотности по толщине пленок;
  • анализ эпитаксиальных структур по спектрам высокого разрешения;
  • анализ полюсных фигур, оценка текстур.

 

Реализуемые методы исследования 

  • Рентгеновская порошковая дифрактометрия
  • Рентгеновская рефлектометрия
  • Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия
  • Текстурный анализ (полюсные фигуры)