Рентгеновский дифрактометр D8 DISCOVER фирмы Bruker AXS предназначен для прецизионного исследования материалов микро- и наноэлектроники. Позволяет проводить рентгенодифракционные исследования материалов, в том числе методами дифрактометрии высокого и низкого разрешения, построения карт обратного пространства, рефлектометрии, дифрактометрии высокого разрешения под скользящими углами, и исследования текстуры и напряжений в автоматическом режиме, с целью обеспечить:  

• фазовый и структурный анализ твердых тел (порошки, поликристаллы); 
• исследование морфологии межслойных границ в многослойных структурах, с толщинами слоев вплоть до нескольких монослоев; 
• изучение особенностей морфологии поверхности и приповерхностных слоев по глубине (от десятых долей нанометра); 
• изучение структурных превращений в твердых растворах. 

Технические характеристики

Источник рентгеновского излучения - запаянная рентгеновская трубка  с медным анодом мощностью 2.2 кВт.

 

Первичная Оптика

• Параболическое многослойное рентгеновское зеркало (Зеркало Гёбеля) для создания квази-параллельного пучка
• Набор коллимирующих щелей
• 4-ёх кратный блок-монохроматор Ge(220)

 

Гониометр 

• Горизонтальный гониометр с минимальный шагом по углам Theta и 2Theta: 0,0001° и воспроизводимостью  позиционирования углов Theta и 2Theta не хуже 0,0001°.
• Образец крепится на подвес Эйлера, обеспечивающий три поступательные и три вращательные степени свободы
• Вакуумный вращающийся держатель образцов диаметром 125 мм.

 

Вторичная Оптика

• Блок PathFinder включающий в себя: щель, щели Соллера, кристалл-анализатор
• Моторизированные щели

 

Системы детектирования

• Позиционно-чувствительный 1-D детектор LYNXEYE с числом каналов 190.
• Сцинтилляционный 0-D детектор 

 

Программно-аналитические возможности

• рентгенофазовый анализ с использованием базы порошковых данных PDF2;
• рентгеноструктурный анализ посредством моделирования порошковых дифрактограмм, индицирование, метод Ритвельда;
• моделирование кривых отражения и построение распределения плотности по толщине пленок;
• анализ эпитаксиальных структур по спектрам высокого разрешения;
• анализ полюсных фигур, оценка текстур.

 

Реализуемые методы исследования 

• Рентгеновская порошковая дифрактометрия
• Рентгеновская рефлектометрия
• Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия
• Текстурный анализ (полюсные фигуры)