Исследовательский комплекс на базе Оже-микроанализатора и энергодисперсионного рентгеноспектрального анализатора JEOL JAMP – 9500F. Предназначен для исследования внутренней структуры наноструктурированных материалов и многослойных покрытий. Наряду с качественным анализом поверхности предоставляет также информацию о количественном составе поверхности, исходя из интенсивности Оже-пиков. Позволяет анализировать химический состав поверхности и приповерхностных слоев, а в сочетании с ионным травлением – получать профили элементного и химического состава тонкопленочных образцов. Применим как для исследования материалов с объемной кристаллической структурой, так и для поликристаллических и аморфных материалов. Важным требованием к исследуемым материалам является совместимость с условиями высокого вакуума.

• Численный и качественный анализ химического состава на поверхности и в объеме;
• Исследования адсорбции, десорбции, поврехностной сегрегации;
• Оже-электронное картрирование;
• Исследования атомных концентраций.

Исследовательский комплекс обеспечивает высокое пространственное разрешение: (3 нм во вторичных электронах и 8 нм диаметр зонда для Оже-анализатора). Запатентованный «в-линзе» термополевой катод Шоттки в сочетании с усовершенствованной конденсорной линзой, позволяет получать значения тока зонда до 200 нА. Электронный спектрометр оборудован полусферическим электростатическим анализатором с многоканальным детектором, обеспечивающим максимальное энергетическое разрешение без потери чувствительности. JАMP-9500F позволяет получать изображения во вторичных электронах, производить Оже-картирование, анализ по линии, анализ по глубине образца с применением ионного травления. JAMP-9500F обладает ионной пушкой для высокоскоростного распыления и нейтрализации заряда. Удобный и легко управляемый, JAMP-9500F также предлагает дополнительные функции анализа, такие как EDX (энергодисперсионный анализ) и XPS (фотоэлектронная спектроскопия).

Основные возможности:

• 3 нм - разрешение во вторичных электронах;
• 8 нм - диаметр зонда для Оже-анализа;
• от 0,05% до 0,6% энергетическое разрешение;
• химический анализ состояния в нескольких областях с разрешением ~10 нм;
• Оже-анализ непроводящих материалов с использованием режима нейтрализации заряда;
• возможность исследования образцов до 95 мм в диаметре.

Технические характеристики