Ожэ-микроанализатор JEOL

Исследовательский комплекс на базе Оже-микроанализатора и энергодисперсионного рентгеноспектрального анализатора JEOL JAMP – 9500F. Предназначен для исследования внутренней структуры наноструктурированных материалов и многослойных покрытий. Наряду с качественным анализом поверхности предоставляет также информацию о количественном составе поверхности, исходя из интенсивности Оже-пиков. Позволяет анализировать химический состав поверхности и приповерхностных слоев, а в сочетании с ионным травлением – получать профили элементного и химического состава тонкопленочных образцов. Применим как для исследования материалов с объемной кристаллической структурой, так и для поликристаллических и аморфных материалов. Важным требованием к исследуемым материалам является совместимость с условиями высокого вакуума.

 

  • Численный и качественный анализ химического состава на поверхности и в объеме;
  • Исследования адсорбции, десорбции, поврехностной сегрегации;
  • Оже-электронное картрирование;
  • Исследования атомных концентраций.

Исследовательский комплекс обеспечивает высокое пространственное разрешение: (3 нм во вторичных электронах и 8 нм диаметр зонда для Оже-анализатора). Запатентованный «в-линзе» термополевой катод Шоттки в сочетании с усовершенствованной конденсорной линзой, позволяет получать значения тока зонда до 200 нА. Электронный спектрометр оборудован полусферическим электростатическим анализатором с многоканальным детектором, обеспечивающим максимальное энергетическое разрешение без потери чувствительности. JАMP-9500F позволяет получать изображения во вторичных электронах, производить Оже-картирование, анализ по линии, анализ по глубине образца с применением ионного травления. JAMP-9500F обладает ионной пушкой для высокоскоростного распыления и нейтрализации заряда. Удобный и легко управляемый, JAMP-9500F также предлагает дополнительные функции анализа, такие как EDX (энергодисперсионный анализ) и XPS (фотоэлектронная спектроскопия).

 

Основные возможности:

  • 3 нм - разрешение во вторичных электронах;
  • 8 нм - диаметр зонда для Оже-анализа;
  • от 0,05% до 0,6% энергетическое разрешение;
  • химический анализ состояния в нескольких областях с разрешением ~10 нм;
  • Оже-анализ непроводящих материалов с использованием режима нейтрализации заряда;
  • возможность исследования образцов до 95 мм в диаметре.

 

Технические характеристики

Электронная пушка

термополевой эммитер Шоттки

Ускоряющие напряжения

от 0.5 до 30 кВ

Ток зонда

от 10 пА до 200 нА

Разрешение (SEI)

3 нм (25 кВ, 10 пА)

Система анализа

полусферический электростатический анализатор 

Диаметр зонда Оже (разрешение)

8 нм (25 кВ, 1 нА)

Энергетическое разрешение

от 0,05 до 0,6 % (∆E/E)

Чувствительность 

840 000 имп/7 каналов в секунду

(10 кВ, 10 нА, Cu-LMM, 0.6% ∆E/E, угол 60°) 

Размеры образцов

 

диаметр до 20 мм

толщина до 5 мм

Степени свободы

X: -48 мм до +10 мм 
Y: ± 10 мм 
Z: ± 6 мм 
Наклон: от 0 до 90°  
Вращение: 360° 

Ионная пушка

травление и нейтрализация

Энергия пучка

от 0.01 до 4 кВ

Ионный ток

 

≥ 2 мкА (3000 эВ)

≥ 0,03 мкА (10 эВ)

Контроль газа

автоматический

Управляющая станция

HP UNIX v.11/Red Hat Linux

Возможности

получение спектра, профилирование по глубине, профиль по линии, Оже-картирование, SEI (изображение во вторичных электронах), анализ по большой площади, автоматизация анализа.

качественный и количественный анализ, дифференциация, сглаживание, обработка изображений, создание подписей.