Лаборатория исследования микро- и наноструктур

Атомно-силовой микроскоп AIST-NT

Полностью автоматизированный сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM (Aist-NT, Россия) 

Применение – проведение исследований поверхности различных объектов с нанометровым пространственным разрешением в воздушной среде. 
Технические характеристики:  
  • Высокая скорость сканирования; 
  • Максимальный размер области сканирования 100х100х15 мкм; 
  • Точность позиционирования зонда и отсутствие искажений изображения за счет использования в сканере емкостных датчиков с обратной связью; 
  • Малошумящая регистрирующая система с ИК лазером для измерения чувствительных к свету образцов; 
  • Автоматизация измерений; 

Ожэ-микроанализатор JEOL

Исследовательский комплекс на базе Оже-микроанализатора и энергодисперсионного рентгеноспектрального анализатора JEOL JAMP – 9500F. Предназначен для исследования внутренней структуры наноструктурированных материалов и многослойных покрытий. Наряду с качественным анализом поверхности предоставляет также информацию о количественном составе поверхности, исходя из интенсивности Оже-пиков. Позволяет анализировать химический состав поверхности и приповерхностных слоев, а в сочетании с ионным травлением – получать профили элементного и химического состава тонкопленочных образцов. Применим как для исследования материалов с объемной кристаллической структурой, так и для поликристаллических и аморфных материалов. Важным требованием к исследуемым материалам является совместимость с условиями высокого вакуума.

Рамановский спектрометр HORIBA

Спектрометр вынужденного комбинационного рассеяния (Рамановский спектрометр) HORIBA LabRam HR 800. Используется для определения и характеристики молекулярного и кристаллического состава материалов. Является бесконтактным неразрушающим методом. Принцип работы рамановского спектрометра основан на эффекте комбинационного рассеяния света или эффекте Рамана, возникающем при рассеянии лазерного излучения веществом. В рассеянном свете появляются дополнительные частоты, определяемые колебаниями молекул или кристаллических структур этого вещества. Анализ полученного спектра позволяет определять собственные частоты колебаний молекул/кристаллических структур рассеивающего вещества, а это, в свою очередь, дает информацию о химическом составе и структуре вещества.

Bruker D8 Discover

 

Рентгеновский дифрактометр D8 DISCOVER фирмы Bruker AXS предназначен для прецизионного исследования материалов микро- и наноэлектроники. Позволяет проводить рентгенодифракционные исследования материалов, в том числе методами дифрактометрии высокого и низкого разрешения, построения карт обратного пространства, рефлектометрии, дифрактометрии высокого разрешения под скользящими углами, и исследования текстуры и напряжений в автоматическом режиме, с целью обеспечить:  
  • фазовый и структурный анализ твердых тел (порошки, поликристаллы); 
  • исследование морфологии межслойных границ в многослойных структурах, с толщинами слоев вплоть до нескольких монослоев; 
  • изучение особенностей морфологии поверхности и приповерхностных слоев по глубине (от десятых долей нанометра); 
  • изучение структурных превращений в твердых растворах. 

Сканирующий электронный микроскоп JEOL

Сканирующий электронный микроскоп JSM-6390LV (JEOL, Япония), интегрированный сэнергодисперсионным анализатором Oxford INCAEnergy (Oxford Instrument, Англия) - применим для электронно-микроскопических и рентгеноспектральных исследований объектов различной природы: анализ морфологии, анализ поверхности микро- и наноструктур, особенностей тонкого строения, фазовой неоднородности, дисперсности, качественный и количественный элементный анализ в микрообъемах для решения фундаментальных и прикладных задач геологии, геоэкологии, наук о материалах, междисциплинарных исследований и т. д. Низковакуумный режим в модели JSM-6390LV позволяет изучать влажные или непроводящие образцы без специальной пробоподготовки. Максимальный размер образца составляет 6 дюймов. Энергодисперсионный анализатор Oxford Instruments X-ACT позволяет проводить качественный и количественный элементный анализ микро- и нанообъектов, картирование поверхности и сравнение спектров. Аналитическая станция позволяет осуществлять последовательный анализ и поэлементное сканирование множества участков в автоматическом режиме и обрабатывать данные применительно к соответствующим точкам наблюдения.